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TEM通過電子束穿透經過特殊制備的薄樣品層，利用透鏡系統對穿透后的電子束進行聚焦成像。SEM則通過聚焦電子束掃描樣品表面，通過探測從樣品表面散射的次級電子來構建圖像。

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電子束光刻是一種利用電子束在涂有電子抗蝕劑的晶片上直接描畫或投影復印圖形的光刻技術。電子抗蝕劑是一種對電子敏感的高分子聚合物，經過電子束掃描后，電子抗蝕劑的分子···

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進口深硅刻蝕是一種在半導體制造中常用的技術，用于制造微米甚至納米級別的集成電路和MEMS（微電子機械系統）等產品。該技術通過物理或化學反應，將硅基底材料進行微觀加工···

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**多功能高溫熱臺——材料科學研究的得力助手**多功能高溫熱臺，這款儀器不僅在材料科學研究領域占有舉足輕重的地位，更是冶金工程技術的得力助手。其獨特的快速升溫制備樣···

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等離子增強化學氣相沉積 (PECVD) 是一種低溫真空薄膜沉積工藝，由于它能夠在無法承受更傳統 CVD 工藝溫度的表面上施加涂層，因此在半導體行業具有非常重要的地位。

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