蔡司集團推出的解決方案讓光學世界不斷前進,并推動了科技的進步。懷揣不懈追求超凡的極大熱情,我們為客戶創造價值,并激發世界以全新的方式進行視覺體驗。可測樣品種類豐富,幾乎不損傷和污染原始樣品以及可同時獲得形貌、結構、成分和結晶學信息等優點。
在半導體領域中,掃描電鏡可以用來分析材料成型機理,器件失效分析,工業工藝控制等問題,對研究和生產有著至關重要的作用。
掃描電子顯微鏡的應用大致包含了以下幾個領域:
1、材料的表面形貌觀察
通過掃描電鏡觀察材料表面形貌,為研究樣品形態結構提供了便利,有助于監控生產產品質量,改善工藝。觀察的主要內容是分析材料的幾何形貌、材料的顆粒度及顆粒度的分布、物相的結構等。
2、涂鍍層表面形貌分析與鍍層厚度測量
?涂鍍層表面形貌分析
通過對涂層表面形貌觀察與分析涂層顆粒尺寸,涂層與基材結合,可以有效的對涂層質量進行管控。材料斷面的失效分析 、組織內的結構和損傷形貌,都可借助掃描電鏡來判斷和分析。
?涂鍍層厚度測量
涂鍍層厚度直接影響零件或產品的裝飾效果、耐腐蝕性、導電性、產品的可靠性和使用壽命。鍍層厚度在產品質量、過程控制、成本控制中都發揮著重要作用。使用掃描電子顯微鏡能精確測量材料鍍層厚度,且成像清晰,效果直觀。
3、材料的微區化學成分分析
分析過程中,獲得形貌放大像后,往往希望能同時進行原位化學成分或晶體結構分析,提供包括形貌、成分、晶體結構或位向在內的更多信息,以便能更全面、客觀地進行判斷分析。
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