掃描電鏡一般說的是掃描電子顯微鏡——SEM。
掃描電子顯微鏡不同于透射電子顯微鏡(TEM)和光學顯微鏡的,它是介于二者之間的一種高分辨率樣品檢測設備。掃描電子顯微鏡利用聚焦很窄的高能電子束來掃描樣品,通過光束與物質間的相互作用,來激發樣品的各種物理信息,再將收集到的信息進行放大,再進行成像,從而將物質微觀的形貌表征出來。
掃描電子顯微鏡的分辨率可以達到1nm,放大倍數可以達到30萬倍及以上,并且掃描電子顯微鏡的倍數連續可調。掃描電子顯微鏡的主要特點是景深大,視野廣,成像立體效果好。此外,掃描電子顯微鏡和其他分析儀器相結合,可以做到觀察微觀形貌的同時進行物質微區成分分析。掃描電子顯微鏡在巖土、石墨、陶瓷及納米材料等。的研究上有廣泛應用。因此掃描電子顯微鏡在科學研究領域具有重大作用。
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