SEM5000是一款分辨率高、功能豐富的場發射掃描電子顯微鏡。
先進的鏡筒設計，高壓隧道技術（SuperTunnel）、低像差無漏磁物鏡設計，實現了低電壓高分辨率成像，同時磁性樣品可適用。光學導航、完善的自動功能、精心設計的人機交互，優化的操作和使用流程，無論經驗是否豐富，都可以快速上手，完成高分辨率拍攝任務
分辨率高，低加速電壓下實現高分辨成像
電磁復合物鏡，減小像差，顯著提高低電壓下的分辨率，而且可觀察磁性樣品
高壓隧道技術(SuperTunnel) ，在隧道中的電子能保持高能量，減少了空間電荷效應，低電壓分辨率得到保證
電子光路無交叉，有效的降低系統像差，提升分辨能力
水冷恒溫物鏡，保證物鏡工作的穩定性、可靠性和可重復性
磁偏轉六孔可調光闌，自動切換光闌孔，無需機械調節，實現高分辨率觀察或大束流分析模式快速切換
應用領域
應用案例
玻璃基底片 /3kV/ETD
催化劑 /5kV/Inlens
大腸桿菌 /3kV/Inlens
氮化硼納米片 /3kV/ETD
三元正極前驅體 /3kV/Inlens
高熵合金粉末 /10kV/BSED
金屬銅粉 /3kV/Inlens
陶瓷截面 /3kV/Inlens
鈷酸鋰 /3kV/Inlens
納米花 /1kV/Inlens
植物切片 /30kV/STEM-BF
植物切片 /30kV/STEM-DF
植物切片 /30kV/STEM-HAADF
勃姆石 /5kV/BSED
鋼鐵夾雜物 /15kV/BSED
鋼鐵夾雜物 /15kV/Inlens
0.9?nm @ 15 kV，SE 0.8 nm @ 30 kV，STEM 樣品臺行程 X: 125 mm，Y: 125 mm，Z: 50 mm （* 可選配超大倉體版本） 插入式背散射電子探測器 軌跡球 & 旋鈕控制板產品參數
關鍵參數 分辨率
1.3 nm @ 1.0 kV，SE加速電壓 20 V ～ 30 kV 放大倍率 1 ～ 2,500,000 x 電子槍類型 肖特基場發射電子槍 樣品室 真空系統 全自動控制 攝像頭 雙攝像頭
（光學導航+樣品倉內監控）
T: -10°～ +90°, R: 360°探測器和擴展 標配 鏡筒內高角度電子探測器
側向低角度電子探測器選配
STEM自動插入式掃描透射探測器
樣品交換倉
高速束閘和電子束曝光
EDS能譜儀
EBSD背散射衍射
EBIC電子束感生電流
CL陰極熒光
高低溫原位拉伸臺
納米機械手
大圖拼接軟件 語言 中文 操作系統 Windows 導航 光學導航、手勢快捷導航 自動功能 自動亮度對比度、自動聚焦、自動像散 
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微信號：13810961731科研設備丨半導體材料丨高精度檢測丨清潔度檢測丨激光刻蝕丨光柵刻蝕丨離子刻蝕丨等離子清洗丨半導體檢驗丨蔡司電鏡丨材料科研丨二維刻蝕丨傾角刻蝕丨3維超景深丨掃描電鏡丨失效分析丨共聚焦顯微鏡 XML地圖