DB500擁有自主可控的場(chǎng)發(fā)射電子鏡筒和“承影”離子鏡筒，是一款優(yōu)雅全能的納米分析和制樣工具。高壓隧道技術(shù)（SuperTunnel）、低像差無(wú)漏磁物鏡設(shè)計(jì)，低電壓高分辨率成像，保證納米分析能力。“承影”離子鏡筒采用液態(tài)鎵離子源，擁有高穩(wěn)定、高質(zhì)量的離子束流，保證納米加工能力。集成式的納米機(jī)械手、氣體注入器、電子物鏡防污染機(jī)構(gòu)，擁有24個(gè)擴(kuò)展口，配置全面，自主可控，擴(kuò)展性強(qiáng)，為您打造全能納米分析和加工中心。

DB500擁有自主可控的場(chǎng)發(fā)射電子鏡筒和“承影”離子鏡筒，是一款優(yōu)雅全能的納米分析和制樣工具。高壓隧道技術(shù)（SuperTunnel）、低像差無(wú)漏磁物鏡設(shè)計(jì)，低電壓高分辨率成像，保證納米分析能力。“承影”離子鏡筒采用液態(tài)鎵離子源，擁有高穩(wěn)定、高質(zhì)量的離子束流，保證納米加工能力。集成式的納米機(jī)械手、氣體注入器、電子物鏡防污染機(jī)構(gòu)，擁有24個(gè)擴(kuò)展口，配置全面，自主可控，擴(kuò)展性強(qiáng)，為您打造全能納米分析和加工中心。

010- 82900840

高壓隧道技術(shù)

鎵離子束

配置全面

氣體注入器

集成式機(jī)械手

質(zhì)保無(wú)憂

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

高壓隧道技術(shù)和無(wú)漏磁物鏡的電子鏡筒，高分辨率成像，兼容磁性樣品

“承影”離子鏡筒，高穩(wěn)定、高質(zhì)量的離子束流，用于高質(zhì)量納米加工和TEM制樣樣品倉(cāng)內(nèi)壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)的機(jī)械手，集成式控制方式，操作精準(zhǔn)到位

自主可控，擴(kuò)展性強(qiáng)，集成化設(shè)計(jì)的離子源更換時(shí)間快，極致的售后服務(wù)，提供免費(fèi)的三年質(zhì)保無(wú)憂服務(wù)

技術(shù)介紹

離子鏡筒"承影"

技術(shù)特點(diǎn)

分辨率：3 nm@30 kV

探針電流：1 pA~50 nA

加速電壓范圍：500 V~30 kV

使用壽命：≥1000小時(shí)

長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定性：72小時(shí)不間斷工作

納米機(jī)械手

技術(shù)特點(diǎn)

倉(cāng)內(nèi)安裝方式

三軸全壓電驅(qū)動(dòng)

步進(jìn)精度≤10nm

最大移動(dòng)速度2mm/s

集成式控制方式

離子束-電子束協(xié)同

氣體注入器

單氣體注入

多種氣源可選

伸縮距離≥35 mm

重復(fù)定位精度≤10 um

加熱溫度控制精度≤0.1℃

加熱溫度范圍：室溫~90℃

集成式控制方式

應(yīng)用案例

金線/30 kV/800X/ETD

芯片/1 kV/1500X/ETD

芯片/1 kV/15000X/ETD

產(chǎn)品參數(shù)